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徐安成著
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高数值孔径投影光刻物镜的光学设计
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作者 :
韦亚一著
码洋价 :
359.00元
出版时间 :
2021-06
编者 :
无编
出版周期 :
旬刊
原版书名 :
超大规模集成电路先进光刻理论与应用
是否套装 :
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包册数 :
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页数 :
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:
科学出版社
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